Resumen
El reactor AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-59787 PECVD es una cámara de deposición diseñada para aplicar películas delgadas o capas sobre sustratos utilizados en diversos dispositivos y sistemas electrónicos. Utilizando Deposición Química de Vapor Mejorada por Plasma (PECVD), este reactor garantiza una excelente uniformidad de deposición y un grosor de capa consistente en toda la superficie del sustrato. Cuenta con una cámara automatizada de carga/descarga, módulos integrados de potencia, vacío y suministro de gas, diseñados para minimizar el tiempo de manipulación del sustrato y reducir el tiempo total de procesamiento. La cámara opera a temperaturas más altas en comparación con los procesos tradicionales de CVD térmico, lo que permite la producción de películas de mayor calidad. Con una interfaz gráfica fácil de usar y una arquitectura de sistema robusta, el reactor ofrece una ventana de proceso ajustable, permitiendo a los usuarios afinar la temperatura, presión y otros parámetros para satisfacer necesidades específicas de deposición. El sistema de suministro de gases reactivos emplea técnicas de CVD a baja presión y baja temperatura (LP-CVD), permitiendo la selección y ajuste de gases reactivos para características de película altamente específicas. El diseño asegura una deposición de película altamente uniforme y perfiles de grosor de película precisos y repetibles en todo el sustrato. El sistema incluye un controlador intuitivo con amplias capacidades de registro de datos y control de procesos, garantizando una operación segura y resultados confiables. El reactor AMAT 0010-59787 PECVD es una cámara de deposición potente, ideal para producir materiales de película delgada de alta calidad para una amplia gama de aplicaciones electrónicas.Especificaciones
- ID: 293665751
- Tamaño de oblea: 12 pulgadas
- Descripción: Calentador cerámico para productor, 12 pulgadas
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